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2011.06.30

校正のトピックスNo.１０３
【ピラニ真空計】：継手や配管で測定値が変わる？

ＮＫＳ流「ためしてガッテン！」

真空測定時には専用の配管や継手があるの？

    • ●ピラニ真空計とは、真空の度合いを測る測定器であり、さまざまな真空設備の中で幅広く使用されています。

    • ●そして、真空測定時には専用の配管や継手が必要であることをご存じですか？

  • ●しかし、実際の現場では真空測定時に専用の配管や継手を使用していないケースがあるとお客様から聞いたことがありました。
  • ●では、真空測定時に配管や継手によって測定値にどの様な影響があるか疑問に思い実験してみました。

配管や継手によって測定値はどうなるの？

    • ●【使用した測定器】ピラニ真空計　型式：ＧＰ－１０００　レンジ：０．４～２７００Ｐａ　アルバック製

      真空ポンプ　　型式：ＧＬＤ０５１　　アルバック製

    • ●真空ポンプで真空引きした時の継手・配管を（１）真空専用配管・継手を使った場合

      （２）一般用チューブ・継手を使った場合

      で真空到達度および到達時間をピラニ真空計で測定しました。


一般用チューブ・継手ではきちんと真空引きが出来ませんでした。

  • ●専用配管・継手を使用した場合、真空０．４Ｐａに約２分で到達しました。
  • ●しかし、一般用チューブ・継手を使用した場合は、２３Ｐａまでしか真空引きする事が出来ず、さらに到達するまでの時間も１０分程度かかりました。

真空用の専用継手・配管を使用する事が重要です。

  • ●一般用チューブは主に正圧用で使用されるものであり、真空で使用するとチューブが収縮し、継手部から気体が微妙に漏れてしまう為にきちんと真空引きが出来なくなります。
  • ●よって、真空を測定する時には真空専用の配管・継手を使用する事が正確な測定を行うポイントになります。
  • ●また、ピラニ真空計の測定子はちょっとした振動で内部のフィラメントが断線するおそれがあります。
  • ●よって、振動ポンプからの振動を受けない様に、測定子と真空ポンプはフレキシブル配管などを使って接続することをおすすめします。

関連情報をご紹介します。

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